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机译:具有大面外行程的静电mEms平移扫描仪,用于多光子显微镜远程轴向扫描
Haijun Li; Xiyu Duan; Gaoming Li; Kenn R. Oldham; Thomas D. Wang;
机译:具有大平面外行程的静电MEMS平移扫描仪,用于多光子显微镜中的远程轴向扫描。
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机译:具有大平面外行程的静电MEMS平移扫描仪用于多光子显微镜中的远程轴向扫描。
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